你好，在國產(chǎn)光刻機概念上市公司中，具有代表性和實力的公司包括：
大族激光：大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團股份有限公司主要從事工業(yè)激光加工設(shè)備與自動化等配套設(shè)備及其關(guān)鍵器件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。公司的主要產(chǎn)品為通用元件及行業(yè)普及產(chǎn)品、行業(yè)專機產(chǎn)品、極限制造產(chǎn)品三大類。公司成為行業(yè)內(nèi)較早入選國家工信部智能制造試點示范項目名單的企業(yè)。芯源微：沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司主要從事半導體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備（涂膠/顯影機、噴膠機）和單片式濕法設(shè)備（清洗機、去膠機、濕法刻蝕機），可用于8/12英寸單晶圓處理（如集成電路制造前道晶圓加工及后道先進封裝環(huán)節(jié)）及6英寸及以下單晶圓處理（如MEMS、MOSFET、Micro LED芯片制造等環(huán)節(jié)）。華特氣體：廣東華特氣體股份有限公司是以廣東佛山為產(chǎn)品研發(fā)基地，業(yè)務(wù)范圍覆蓋境內(nèi)外近20個國家和地區(qū)，為全球1000余家客戶，包括INTEL、AMD、MICRON、ASML、TI、INFINEON、GLOBALFOUNDRIES、SAMSUNG、HYNIX等行業(yè)巨頭提供氣體及一站式服務(wù)，根據(jù)客戶所在行業(yè)不同，公司可分為集成電路行業(yè)客戶、光伏行業(yè)客戶、面板行業(yè)客戶及其他行業(yè)客戶，其中集成電路行業(yè)客戶為公司最主要的收入來源。

這些公司在國產(chǎn)光刻機領(lǐng)域都具備較強的技術(shù)實力和市場份額，是國產(chǎn)光刻機概念上市公司中的佼佼者。

請注意，以上內(nèi)容僅供參考，投資需謹慎。在投資國產(chǎn)光刻機概念上市公司時，需要充分了解公司的業(yè)務(wù)范圍、市場份額、技術(shù)實力、財務(wù)狀況等因素，并關(guān)注行業(yè)發(fā)展趨勢和市場競爭狀況等因素以做出明智的投資決策。

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